SURFACE-MORPHOLOGY OF CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION GROWN GE ON GE SUBSTRATES

被引：6

作者：

AHARONI, H ^{[1
]}

机构：

[1] BEN GURION UNIV NEGEV,DEPT ELECT & COMP ENGN,IL-84105 BEERSHEBA,ISRAEL

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573715

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2482 / 2491

页数：10

共 9 条

AHARONI, H .

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