CERMET AS AN INORGANIC RESIST FOR ION LITHOGRAPHY

被引：7

作者：

MELNGAILIS, J ^{[1
]}

EHRLICH, DJ ^{[1
]}

PANG, SW ^{[1
]}

RANDALL, JN ^{[1
]}

机构：

[1] MIT,LINCOLN LAB,LEXINGTON,MA 02173

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583907

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：379 / 381

页数：3

共 6 条

EHRLICH, DJ ;

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