EVALUATION OF SOI SIMOX SUBSTRATES USING PHOTOCONDUCTIVE FREQUENCY RESOLVED SPECTROSCOPY (PCRFS)

被引：2

作者：

HOMEWOOD, KP ^{[1
]}

REESON, KJ ^{[1
]}

LOURENCO, MA ^{[1
]}

HEMMENT, PLF ^{[1
]}

DAVIS, JR ^{[1
]}

机构：

[1] BRITISH TELECOM RES LABS,MARTLESHAM HEATH,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(89)90772-6

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：207 / 209

页数：3

共 3 条

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