VALENCY CONTROL OF P-TYPE A-SIC-H HAVING THE OPTICAL BAND-GAP MORE THAN 2.5EV BY ELECTRON-CYCLOTRON RESONANCE CVD (ECR CVD)

被引：32

作者：

HATTORI, Y

KRUANGAM, D

TOYAMA, T

OKAMOTO, H

HAMAKAWA, Y

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(87)90259-6

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1079 / 1082

页数：4

共 3 条

[1]

HATTORI Y, 1987, 19TH P IEEE PHOT SPE

KRUANGAM, D ;

TOYAMA, T ;

HATTORI, Y ;

DEGUCHI, M ;

OKAMOTO, H ;

HAMAKAWA, Y .

NONOMURA, S ;

OKAMOTO, H ;

HAMAKAWA, Y .

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1983, 32 (01) :31-38