THE STUDY OF MECHANICAL-PROPERTIES OF A-C-H FILMS BY BRILLOUIN-SCATTERING AND ULTRALOW LOAD INDENTATION

被引:93
作者
JIANG, X
ZOU, JW
REICHELT, K
GRUNBERG, P
机构
关键词
D O I
10.1063/1.343833
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4729 / 4735
页数:7
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