ACTIVATION ENERGIES IN CHEMICAL ETCHING OF SEMICONDUCTORS IN HNO3-HF-CH3COOH

被引:24
作者
BOGENSCHUTZ, AF
KRUSEMARK, W
LOCHERER, KH
MUSSINGER, W
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2426794
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:970 / +
页数:1
相关论文
共 13 条