SCRATCHES ON NEAR (111)SILICON SLICES

被引:15
作者
BADRICK, AST [1 ]
ELDEGHAIDY, F [1 ]
PUTTICK, KE [1 ]
SHAHID, MA [1 ]
机构
[1] UNIV SURREY,DEPT PHYS,GUILDFORD GU2 5XH,SURREY,ENGLAND
关键词
D O I
10.1088/0022-3727/10/2/004
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:195 / &
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