ANALYSIS OF REFLECTIVITY SPECTRA OF SILICON IMPLANTED WITH 70 KEV B, SI, AND AG IONS

被引：13

作者：

CZARNECKASUCH, E

KISIEL, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(88)90333-0

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：221 / 234

页数：14

共 27 条

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