BEHAVIOR OF PHOSPHORUS AND ARSENIC DIFFUSED SIMULTANEOUSLY INTO SILICON CRYSTALS

被引：11

作者：

FUJIMOTO, F

WATANABE, M

YONEZAWA, T

KOMAKI, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1654132

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：248 / &

共 7 条

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