ELECTRON-BEAM ENHANCED GROWTH OF CVD-DEPOSITED SILICON ON ALUMINA

被引:6
作者
HEINEMANN, K
OSAKA, T
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(82)90369-4
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
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页数:14
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