A STUDY ON THE PENETRATION OF PLATINUM INTO SILICON IN TI-PT-AU BEAM LEAD METALLIZATION SYSTEMS

被引:9
作者
KANAMORI, S
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(81)90388-6
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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