RECRYSTALLIZATION OF SILICON-ON-INSULATOR LAYERS IN PULSED NANOSECOND HEATING (MODEL-CALCULATIONS)

被引：7

作者：

ALEKSANDROV, LN ^{[1
]}

BALANDIN, VY ^{[1
]}

DVURECHENSKII, AV ^{[1
]}

KULYASOVA, OA ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV NOVOSIBIRSK,NOVOSIBIRSK,USSR

来源：

THIN SOLID FILMS | 1989年 / 171卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(89)90046-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：235 / 242

页数：8

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共 15 条

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