HIGH-ENERGY SPUTTERING

被引：70

作者：

YONTS, OC

NORMAND, CE

HARRISON, DE

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1735605

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：447 / 450

页数：4

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共 5 条

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