VAPOR ETCHING OF BORON MONOPHOSPHIDE BY GASEOUS HYDROGEN-CHLORIDE

被引：10

作者：

MIZUTANI, T ^{[1
]}

ASANO, H ^{[1
]}

NISHINAGA, T ^{[1
]}

UCHIYAMA, S ^{[1
]}

机构：

[1] NAGOYA UNIV,FAC ENGN,DEPT ELECTR,NAGOYA 464,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.16.1629

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1629 / 1633

页数：5

共 8 条

[1]

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[No title captured]