PIEZORESISTIVE PROPERTIES OF POLYCRYSTALLINE SILICON THIN-FILM

被引：16

作者：

ONUMA, Y

SEKIYA, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.11.20

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：20 / &

共 9 条

HASS, G .

ZEITSCHRIFT FUR ANORGANISCHE CHEMIE, 1948, 257 (04) :166-172

[2] EPITAXIAL FILMS OF SILICON ON SPINEL BY VACUUM EVAPORATION [J].

ITOH, T ;

HASEGAWA, S ;

KAMINAKA, N .

[3]

ITOH T, 1969, J APPL PHYS, V39, P2967

[4]

NAMBA S, 1967, SCI PAPERS IPCR, V61, P45

ONUMA, Y .

[6]

ONUMA Y, 1969, J I ELECT ENGRS JAPA, V89, P970

[7]

ONUMA Y, 1969, J IEE JPN, V89, P1406

[8]

ONUMA Y, 1966, J I ELECT ENGRS JAPA, V86, P769

[9] EPITAXIAL GROWTH OF SILICON BY VACUUM EVAPORATION [J].

UNVALA, BA .