SPIN-ON SOURCES FOR BORON AND ARSENIC DIFFUSION

被引：4

作者：

PRASAD, PM

RAO, MV

SINGH, VPS

机构：

来源：

INTERNATIONAL JOURNAL OF ELECTRONICS | 1979年 / 47卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1080/00207217908938668

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：503 / 508

页数：6

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