SECONDARY ELECTRON EMISSION FROM DIFFUSION PUMP OILS .I.

被引:11
作者
ISHIKAWA, K
GOTO, K
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.6.1329
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1329 / &
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