NEW DIELECTRIC ISOLATION TECHNIQUE FOR BIPOLAR INTEGRATED-CIRCUITS USING THIN SINGLE-CRYSTAL SILICON FILMS

被引：15

作者：

KAMINS, TI

机构：

来源：

PROCEEDINGS OF THE INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS | 1972年 / 60卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1109/PROC.1972.8807

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：915 / +

页数：1

共 6 条

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