MODELING OF HYDROGEN DIFFUSION IN N-TYPE AND P-TYPE SILICON

被引:98
作者
MATHIOT, D
机构
来源
PHYSICAL REVIEW B | 1989年 / 40卷 / 08期
关键词
D O I
10.1103/PhysRevB.40.5867
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:5867 / 5870
页数:4
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