ETCHING OF ALXGA1-XAS IN ALKALINE SOLUTION

被引：11

作者：

KOBAYASHI, T ^{[1
]}

SUGIYAMA, K ^{[1
]}

机构：

[1] MUSASHINO ELECT COMMUN LAB, MUSASHINO, TOKYO, JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1973年 / 12卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.12.619

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：619 / 620

页数：2

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共 2 条

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