OXIDATION OF AN ALUMINUM MAGNETRON SPUTTERING TARGET IN AR-O2 MIXTURES

被引:67
作者
MANIV, S [1 ]
WESTWOOD, WD [1 ]
机构
[1] BELL NO RES, STN C, OTTAWA K1Y 4H7, ONTARIO, CANADA
关键词
D O I
10.1063/1.327332
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:718 / 725
页数:8
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