REACTIVE HIGH-RATE SPUTTERING OF OXIDES

被引：16

作者：

MUNZ, WD

HEIMBACH, J

REINECK, SR

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(81)90286-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：175 / 181

页数：7

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共 7 条

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