PROPERTIES OF TA2O5-AL2O3 MIXTURE FILMS

被引：5

作者：

MATSUO, T ^{[1
]}

机构：

[1] TOKYO SHIBAURA ELECTR CO LTD,TOSHIBA RES & DEV CTR,KAWASAKI,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.12.1862

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1862 / 1868

页数：7

共 9 条

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