GROWTH OF AIN/GAN LAYERED STRUCTURES BY GAS SOURCE MOLECULAR-BEAM EPITAXY

被引:104
作者
SITAR, Z [1 ]
PAISLEY, MJ [1 ]
YAN, B [1 ]
RUAN, J [1 ]
CHOYKE, WJ [1 ]
DAVIS, RF [1 ]
机构
[1] UNIV PITTSBURGH,DEPT PHYS,PITTSBURGH,PA 15260
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1990年 / 8卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.585061
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:316 / 322
页数:7
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