ORIGIN OF FIXED CHARGE IN THERMALLY OXIDIZED SILICON

被引：6

作者：

GORONKIN, H ^{[1
]}

机构：

[1] VARIAN ASSOC,BEVERLY,MA 01915

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2133287

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：314 / 317

页数：4

共 6 条

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