X-RAY STUDY OF SMALL DISLOCATION LOOPS IN THERMALLY OXIDIZED SILICON

被引:15
作者
KAWADO, S
MARUYAMA, T
机构
关键词
D O I
10.1107/S0021889872009513
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
引用
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页码:281 / &
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