HOT-ELECTRON-INDUCED INSTABILITY IN 0.5-MU-M P-CHANNEL MOSFETS PATTERNED USING SYNCHROTRON X-RAY-LITHOGRAPHY

被引:22
作者
HSU, CCH
WANG, LK
WORDEMAN, MR
NING, TH
机构
关键词
D O I
10.1109/55.29668
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:327 / 329
页数:3
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