ADSORPTION OF OXYGEN ON A CLEAN SILICON SURFACE

被引:68
作者
MEYER, F [1 ]
VRAKKING, JJ [1 ]
机构
[1] PHILIPS RES LABS,EINDHOVEN,NETHERLANDS
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(73)90296-3
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:275 / 281
页数:7
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