MEASUREMENT OF OXYGEN ADSORPTION ON SILICON BYELLIPSOMETRY

被引:106
作者
ARCHER, RJ
GOBELI, GW
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3697(65)90163-0
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
引用
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页码:343 / &
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