IONIZATION GAUGE USING A SIC P-N JUNCTION ELECTRON EMITTER

被引：8

作者：

DOBROTT, JR

OMAN, RM

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1970年 / 7卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1315799

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：214 / &

共 5 条

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