A MASS-SPECTROMETRIC STUDY OF THE SIMULTANEOUS REACTION-MECHANISM OF TMIN AND PH3 TO GROW INP

被引：42

作者：

BUCHAN, NI ^{[1
]}

LARSEN, CA ^{[1
]}

STRINGFELLOW, GB ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV UTAH,DEPT ENGN,SALT LAKE CITY,UT 84112

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(88)90045-0

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

Semiconducting Indium Compounds

引用

页码：605 / 615

页数：11

共 43 条

YOSHIDA, M ;

WATANABE, H ;

UESUGI, F .

[42] DOPING REACTION OF PH3 AND B2H6 WITH SI(100) [J].

YU, ML ;

VITKAVAGE, DJ ;

MEYERSON, BS .

YU, ML ;

MEYERSON, BS .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1984, 2 (02) :446-449