真空中微波等离子体喷流电子数密度分布规律实验研究

被引：1

作者：

杨涓

刘文一

朱国强

毛根旺

机构：

[1] 西北工业大学航天学院

来源：

物理学报 | 2007年 / 01期

关键词：

等离子体诊断技术; 等离子体基本过程; 等离子体基本特性;

D O I：

暂无

中图分类号：

O53 [等离子体物理学];

学科分类号：

070204 ;

摘要：

为了准确诊断真空中微波等离子体喷流的电子数密度,利用统一的发射和单郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线.根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明,当真空环境压强为2—6Pa、等离子体发生器以60W以下的微波功率击穿流量范围是42—106mg/s的氩气时,所产生的微波等离子体喷流中电子数密度分布在1×1016—7·2×1016/m3范围内.

引用

页码：366 / 370

页数：5

共 5 条

[1] 朗谬尔单探针测量螺旋波等离子体参量 [J].