压电扫描器非线性校正的实验研究

被引：3

作者：

李晓娜

韩立

左燕生

奚爽

机构：

[1] 中国科学院电工研究所

来源：

关键词：

扫描探针显微镜; 压电陶瓷扫描器; 非线性校正; 双频激光干涉仪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN384 [铁电及压电器件];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

针对扫描探针显微镜的压电扫描器提出一种非线性校正方法。利用双频激光干涉仪对压电扫描管的位移-电压曲线进行测量,设计非线性校正算法,修正控制电压以实现对压电扫描管非线性校正,将该方法应用于扫描探针显微镜。实验表明该方法能实现压电扫描器的非线性校正。

引用

页码：219 / 221

页数：3

共 5 条

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