低温等离子体技术

被引：55

作者：

任兆杏

丁振峰

机构：

[1] 中国科学院等离子体物理研究所

[2] 中国科学院等离子体物理研究所第十一研究室

来源：

自然杂志 | 1996年 / 04期

关键词：

低温等离子体; 集成电路; 材料合成; 表面工程; 节能技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

O539 [等离子体物理的应用];

学科分类号：

070204 ;

摘要：

低温等离子体技术是一门已相对成熟和蓬勃发展着的应用学科,它已在传统和高技术领域得到了广泛的应用,优点与工艺机理复杂是应用中的两个方面,本文分以下几个方面对这一技术的特点及其发展进行介绍:1.引言,2.低温等离子体的产生与分类,3.低温等离子体技术的特点及应用,4.低温等离子体技术及其应用的发展,5.低温等离子体技术存在的问题。

引用

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