压电式微定位机构及其控制系统的研究

被引：13

作者：

孙宝玉

林洁琼

梁淑卿

王登月

机构：

[1] 长春工业大学机电学院

[2] 长春市新星锅炉厂吉林长春

[3] 吉林长春

来源：

压电与声光 | 2005年 / 02期

关键词：

微定位机构; 压电陶瓷; 柔性铰链; 数字PID控制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

080401 [精密仪器及机械];

摘要：

研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构,给出了机构的动力学模型。结合检测装置和微机控制系统,设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统。实验表明,微定位系统定位行程可达100μm,定位分辨力0.01μm。

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页码：139 / 141

页数：3

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