超精密定位工作台

被引：34

作者：

吴鹰飞

周兆英

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

来源：

微细加工技术 | 2002年 / 02期

关键词：

超精密定位;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305.7 [光刻、掩膜];

学科分类号：

摘要：

在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持。就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作了介绍。并分析了它们各自的特点。根据不同的应用要求可选用合适的超精密定位方案。

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共 2 条

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