大行程纳米级压电微动工作台的设计与试验研究

被引：6

作者：

胡长德 ^{[1
]}

赵美蓉 ^{[2
]}

李咏强 ^{[1
]}

高娟 ^{[1
]}

朱砂 ^{[1
]}

机构：

[1] 装备指挥技术学院士官系

[2] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室

来源：

传感技术学报 | 2009年 / 22卷 / 06期

关键词：

纳米定位; 尺蠖运动; 压电陶瓷; 最小步距; 大范围;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP273 [自动控制、自动控制系统];

学科分类号：

080201 ; 0835 ;

摘要：

介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级级平台式步距压电微动台。在结构设计方面,夹紧器和驱动器都采用压电陶瓷对称结构,配合夹紧器的夹紧、放松,驱动器伸长或缩短,实现推-拉接力运动,保证微动台运动的平稳性和连续性;采用平台式结构,增强了其实用性。驱动控制方面,配以适当的四路驱动信号,实现了压电微动台的单步、多步连续匀速运动。通过试验对微动台的性能进行了测试,结果表明:微动台的运动位移是线性的,运动速度在驱动电压为200V可达13.9μm/s,最小步距小于10nm,行程大于20mm。

引用

页码：803 / 807

页数：5

共 18 条

[1]

大行程压电微动台驱动控制系统的研究.[D].温丽梅.天津大学.2005, 07

[2] B位复合离子取代NBT无铅陶瓷的电性能研究 [J].