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大行程压电微动台的有限元分析与实验
被引：1
作者：
权哲浩
林玉池
赵美蓉
齐永岳
机构：
[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
来源：
关键词：
压电微动台;
尺蠖运动;
有限元分析;
静态特性;
动态特性;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH703.8 [];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
设计了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电微动台,变传统单驱动器结构为双驱动器结构,采用"推-拉"接力运动原理,实现了大的驱动力与行程.利用有限元方法对压电微动台的结构和静、动态特性进行了研究.实验结果表明,压电微动台的运动范围为11 mm,稳定性好,载物力可以达到24.5 N,最小步距小于20 nm.
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页码：821 / 826
页数：6
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