MEMS微机械陀螺温度特性分析与建模

被引：31

作者：

陈湾湾 ^{[1
,2
]}

陈智刚 ^{[1
]}

马林 ^{[2
]}

付建平 ^{[1
]}

机构：

[1] 中北大学地下目标毁伤技术国防重点学科实验室

[2] 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

来源：

传感技术学报 | 2014年 / 27卷 / 02期

关键词：

MEMS陀螺; 温度特性; 零偏; 误差补偿;

D O I：

暂无

中图分类号：

V241.5 [陀螺仪表];

学科分类号：

082501 [飞行器设计];

摘要：

针对MEMS微机械陀螺的零偏随温度变化波动较大的特性,通过建立MEMS陀螺零偏随温度变化之间的误差模型,在温度范围为-20℃60℃温箱试验下,分析MEMS陀螺的零偏输出变化,经去除野值后使用建立的误差模型对零偏进行补偿,结果表明,MEMS陀螺仪因温度引起的零偏从最大约为160°/h,经补偿后降至约为10°/h。该温度误差模型使MEMS陀螺的全温区零偏特性得到了一定程度的提升,为提高之后的导航精度打下基础,具有一定的工程价值。

引用

页码：194 / 197

页数：4

共 10 条

[1]

误差理论与数据处理.[M].费业泰主编;.机械工业出版社.2000,

[2]

大温差应用环境下的MEMS陀螺零偏补偿研究 [J].