压电传感器材料的铁电特性研究

被引：2

作者：

邵春玉 ^{[1
]}

王兢 ^{[1
]}

刘梦伟 ^{[2
]}

董维杰 ^{[1
]}

机构：

[1] 大连理工大学电子与信息工程学院

[2] 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学

来源：

关键词：

压电材料; PZT; 铁电性; Mn;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2006.s1.117

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

本文采用溶胶-凝胶工艺制备了不同Mn离子掺杂浓度的PZT薄膜。研究了不同掺杂浓度对压电传感器薄膜铁电特性的影响。试验结果表明:当Mn离子含量较少时,Mn在PZT中主要表现施主掺杂特性,薄膜铁电性能提高;而当浓度增大时,薄膜性能降低。

引用

页码：302 / 303

页数：2

共 4 条

[1] 添加剂对锆钛酸铅二元系压电陶瓷性能的影响 [J].

诸爱珍 .

[2] 锰掺杂对硬性PZT材料压电性能的影响 [J].

贺连星 ;

李承恩 .

[3] PZT铁电薄膜的掺杂改性 [J].

王培英 ;

余大年 ;

刘梅冬 ;

曾亦可 ;

饶韫华 .

张子清 ;

宋道仁 ;

肖鸣山 ;

李祥晨 .