化学气相淀积反应器中成核与成膜控制

被引：8

作者：

李春忠

胡黎明

袁渭康

陈敏恒

机构：

[1] 华东化工学院技术化学物理研究所,华东化工学院技术化学物理研究所,华东化工学院技术化学物理研究所,华东化工学院技术化学物理研究所上海,上海,上海,上海

来源：

关键词：

化学气相淀积; 粒度分布; 薄膜生长;

D O I：

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学科分类号：

摘要：

基于气溶胶动力学和化学反应动力学,建立了化学气相淀积(CVD)反应器中普适动力学方程,导出了CVD反应器中超细颗粒粒径分布谱函数和薄膜淀积速率的计算方法;研究了操作参数对钛酸丁酯高温裂解过程中成核与成膜的影响.用成核与成膜竞争判据——H准数,研究了CVD反应器中成核与成膜的控制策略.

引用

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