超薄膜生长的Monte-Carlo研究

被引：21

作者：

魏合林

刘祖黎

姚凯伦

机构：

[1] 华中理工大学物理系!武汉

来源：

物理学报 | 2000年 / 04期

关键词：

薄膜生长; Monte-Carlo; 形貌; 模型研究; 超薄膜; 晶体生长; 基底温度; 吸附原子;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

利用Monte Carlo(M C)模型研究了薄膜生长的初始阶段岛的形貌和岛的尺寸与基底温度之间的关系 .模型中考虑了原子沉积、吸附原子扩散和蒸发等过程 ,与以前模型不同的是我们用Morse势计算粒子之间的相互作用 ,并详细考虑了临近和次临近原子的影响 .结果表明 ,随基底温度的升高 ,岛的形貌经历了一个从分形生长到凝聚生长的变化过程 .进一步研究表明 ,岛的形貌与基底的形貌之间的关系随着基底温度的升高有很大的变化 ,基底温度低时 ,岛的形状与基底形貌无关 ,高温时岛具有与基底形貌相似的结构 .这些结果与实验结果一致 .为了进一步说明岛的生长与基底温度之间的关系 ,还计算了岛的平均尺寸随基底温度的变化 ,结果很明显 ,岛的平均尺寸随基底温度的升高而降低 .发现在岛的生长过程中存在一个从分形岛生长到凝聚生长的转变温度区 .

引用

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