飞秒激光超精细“冷”加工技术及其应用(I)

被引:44
作者
杨建军
机构
[1] 深圳大学工程技术学院深圳
关键词
飞秒激光; 微加工; 应用;
D O I
暂无
中图分类号
TN249 [激光的应用];
学科分类号
0803 ; 080401 ; 080901 ;
摘要
飞秒激光的超快速时间和超高峰值特性将其能量全部、快速、准确地集中在限定的作用区域,实现对几乎所有材料的非热熔性冷处理,获得传统激光加工无法比拟的高精度、低损伤等独特优势。通过与长脉冲作用情形的比较,详细阐述飞秒激光作用的基本原理及其本质特征。介绍了目前应用飞秒激光这一独特优势在材料的超微细加工和结构处理、光子器件新型制作、高密度数据全新存储、医疗和生物工程等方面取得的最新进展,揭示了飞秒激光在工业加工、微电子、光通讯、光信息和生命科学等高技术领域有着非常广泛的应用前景。
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页码:42 / 52+57 +57
页数:12
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[1]   21世纪微电子光刻技术 [J].
姚汉民 ;
刘业异 .
半导体技术, 2001, (10) :47-51+73
[2]   飞秒激光加工 [J].
陈艳 ;
晓晨 .
激光与光电子学进展, 2001, (03) :53-57
[3]   Femtosecond ablation of ultrahard materials [J].
Dumitru, G ;
Romano, V ;
Weber, HP ;
Sentis, M ;
Marine, W .
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 2002, 74 (06) :729-739
[4]  
Femtosecond, picosecond and nanosecond laser ablation of solids[J] . B. N. Chichkov,C. Momma,S. Nolte,F. Alvensleben,A. Tünnermann.Applied Physics A Materials Science & Processing . 1996 (2)
[5]   NANOSECOND AND FEMTOSECOND EXCIMER-LASER ABLATION OF OXIDE CERAMICS [J].
IHLEMANN, J ;
SCHOLL, A ;
SCHMIDT, H ;
WOLFFROTTKE, B .
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1995, 60 (04) :411-417
[6]   NANOSECOND AND FEMTOSECOND EXCIMER LASER ABLATION OF FUSED-SILICA [J].
IHLEMANN, J ;
WOLFF, B ;
SIMON, P .
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1992, 54 (04) :363-368
[7]   FEMTOSECOND-EXCIMER-LASER PATTERNING OF YBA2CU3O7 FILMS [J].
SCHWAB, P ;
HEITZ, J ;
PROYER, S ;
BAUERLE, D .
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1991, 53 (03) :282-283