微电子机械系统(MEMS)发展研究

被引：4

作者：

王宏

机构：

[1] 东北微电子研究所沈阳

来源：

微处理机 | 2002年 / 03期

关键词：

微电子机械系统; 微电子; 商品化; 产品;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

摘要：

叙述了世界 MEMS产业和市场情况 ,介绍了当前 MEMS的设计、制造、封装和测试技术 ,最后浅析了 MEMS产品的商品化进展。

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