激光直写系统焦斑整形的研究

被引：20

作者：

李凤友

李红军

卢振武

廖江红

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春

来源：

关键词：

激光直写; 光束整形; DOE;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件 ( DOE) ,对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑 ,利用同一个 DOE加以整形的方法。模拟表明 :整形后焦斑的面形和边缘显著改善 ,衍射效率高于实用指标 ,提供一种改善系统分辨能力的有效途径。

引用

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共 3 条

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