多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究

被引：3

作者：

刘红忠

赵万华

李涤尘

卢秉恒

机构：

[1] 西安交通大学先进制造研究所,西安交通大学先进制造研究所,西安交通大学先进制造研究所,西安交通大学先进制造研究所西安,西安,西安,西安

来源：

光子学报 | 2002年 / 05期

关键词：

多坐标; 激光干涉仪; 纳米定位;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术]; TH744.5 [];

学科分类号：

摘要：

提出了应用激光干涉量度 ( L M)系列多坐标激光干涉仪在纳米定位系统中进行同步定位检测 ,具有尺寸小、重量轻、光源与测量头分离的特点 ,完全消除了由于光源的震动、发热等因素对纳米定位系统的影响 ;它的测量分辨率高、测量范围大及本身带有智能分析环节 ,在IC( Integrated circuit)制造装备及微机械、生物芯片制造装备等方面的应用中 ,满足大空间范围和超高精度定位的要求 ,并且可以通过分布式 CPU控制方式实现多坐标高速、同步实时定位 .

引用

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