二元光学在凸非球面零件检测中的应用

被引:2
作者
肖永鹏 [1 ]
任涛 [2 ]
机构
[1] 东北师范大学计算机科学学院
[2] 长春理工大学计算机学院
关键词
二元光学; 光学设计; 非球面检测;
D O I
10.16163/j.cnki.22-1123/n.2007.03.007
中图分类号
O435 [几何光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
分析使用多种透镜组合成补偿镜对非球面进行背部检验,在各种传统检测方法的基础上,研究了一种新的检测方法——使用二元光学元件(CGH)作为补偿镜来检测大口径凸非球面,从而降低加工精度和减小系统体积.讨论了二元光学的原理和设计方法,并给出设计实例.
引用
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