集成微热板气体传感器阵列的加热驱动电路设计

被引:3
作者
程义军
唐祯安
余隽
机构
[1] 大连理工大学电子科学与技术学院
关键词
集成气体传感器阵列; 微热板; 加热驱动电路; 模拟集成电路设计;
D O I
暂无
中图分类号
TN432 [场效应型]; TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
基于集成微热板气体传感器阵列的应用需求,采用CSMC的0.5μm标准CMOS工艺设计了片上加热驱动电路,可根据外部控制信号实现阵列中各微热板加热温度的独立调节。利用Hspice完成了电路仿真,并进行了代工流片。实验测试结果表明该加热驱动电路满足设计要求,各路加热通道产生的驱动电流相对误差小于2%,并且切换电流时无明显过冲现象。
引用
收藏
页码:1136 / 1140
页数:5
相关论文
共 5 条
  • [1] 陶瓷微热板阵列式可燃气体传感器
    薛严冰
    唐祯安
    [J]. 光学精密工程, 2012, 20 (10) : 2200 - 2206
  • [2] 深亚微米CMOS电路多电源全芯片ESD技术研究
    杨兵
    罗静
    于宗光
    [J]. 电子器件, 2012, 35 (03) : 258 - 262
  • [3] A smart single-chip micro-hotplate-based gas sensor system in CMOS-technology
    Barrettino, D
    Graf, M
    Zimmermann, M
    Hagleitner, C
    Hierlemann, A
    Baltes, H
    [J]. ANALOG INTEGRATED CIRCUITS AND SIGNAL PROCESSING, 2004, 39 (03) : 275 - 287
  • [4] An integrated gas sensor based on tin oxide thin-film and improved micro-hotplate 1 Paper presented at the 2nd Asia Conference on Chemical Sensors; Xi'an; P.R. China; 1995. 1.[J].Zhenan Tang;Samuel K.H Fung;Darwin T.W Wong;Philip C.H Chan;Johnny K.O Sin;Peter W Cheung.Sensors & Actuators: B. Chemical.1998, 3
  • [5] A smart sensor system for carbon monoxide detection
    Cardinali, GC
    Dori, L
    Fiorini, M
    Sayago, I
    Faglia, G
    Perego, C
    Sberveglieri, G
    Liberali, V
    Maloberti, F
    Tonietto, D
    [J]. ANALOG INTEGRATED CIRCUITS AND SIGNAL PROCESSING, 1997, 14 (03) : 275 - 296