新颖双框架角振动微机械陀螺的制作

被引：3

作者：

陈德英

机构：

[1] 东南大学微电子中心!南京

来源：

传感器技术 | 1999年 / 05期

关键词：

微机械; 双框架式; 角振动陀螺;

D O I：

10.13873/j.1000-97871999.05.012

中图分类号：

TP216 [自动检测仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ;

摘要：

介绍了新颖双框架角振动微机械陀螺的工作原理、结构特点、制备工艺及关键工艺的实验结果

引用

收藏

页码：29 / 31

页数：3

相关论文

共 3 条

[1] 浓硼硅腐蚀自停止的研究 [J].

陈德英 .

半导体技术, 1998, (05) :33-35

[2] 硅微振动陀螺的理论分析 [J].

茅盘松，王修伦，吴绍夫 .

传感器技术, 1995, (06) :6-10

[3]

硅微机械加工技术[M]. 科学出版社 , 黄庆安编著, 1996