Al-C-F/渐变SS-C/Al选择性吸收表面

被引：4

作者：

侯苏平

殷志强

史月艳

机构：

[1] 清华大学

来源：

太阳能学报 | 1988年 / 02期

关键词：

减反射膜; SS-C/Al; 消光系数; 光学增透膜; 消光比; 恒星光谱; 太阳光谱; 选择性吸收表面; Al-C-F; 金属层; 厚度值; 法向发射率; 真空沉积; 溅射沉积; 真空烘烤; 多层膜模型; 光学性能; 反射比率; 反射率; 真空集热管; 吸收系数; 吸收率; 选择性表面;

D O I：

10.19912/j.0254-0096.1988.02.003

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

建立了铝与不锈钢两个平面磁控靶溅射系统。反应溅射沉积了一组SS-C复合材料、α-C:H与Al-C-F均匀薄膜。运用椭偏仪-分光光度计法确定了上述薄膜在太阳光谱范围（0.35—2.5μm）内的光学常数谱值（?）(λ)=n（λ）-ik（λ）。对多层膜系的模型用计算机进行优化设计与计算。实验表明,溅射沉积Al-C-F/变渐SS-C/Al选择性吸收表面,其反射率谱值与计算出的最佳谱值基本一致,太阳吸收率α≈0.96,法向发射率ε_n≈0.06（80℃）。经真空中450℃烘烤1小时,该表面的光学性能基本没有变化。这种优质表面用于玻璃真空集热管有良好的前景。

引用

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